| 波前测量 |
| GB7203193 1972-1-24 发明授权 |
| 1974-8-14 |
| 1363775光-电波前测量Western电Co公司1972年1月24日[1971年1月25日]3193\/72航向g2j[还在分g1]所述振幅和\/或相位在待分析的波前中的一个或多个点被确定由形成一第一干扰图案从该波前和一个参考波前，其存在一个第一之间的相位关系; 和所述点处采样所述该第一图案中强度(s)，由一个离散值改变所述相位关系以一第二相位关系和重复所述采样操作，和确定，所需要的量用于每个点例如通过该联立方程组的使用，或，如果大数量的相位关系进行变化和采样操作出，通过计算傅里叶系数。fig.1所述波前中从一个物体45是分析使用一氦-氖激光干涉仪和一个摄像机摄像机管59。所述干涉仪包括一个圆形偏振器的所述参考臂33，和用于所述参考臂之间的波阵面改变所述相位关系和所述对象的波前，一种#\/4板35被提供，其是由一个步进电机36转动，该干扰图案形成在所述照相机管是例示在图2，示出了五个暗条纹69。所述行中的取样点63被设置，一个行每个用于每个光及每个暗条纹。典型的取样点的阵列是16X16和32X32，所述的输出代表该强度在这些点被馈送到一个视频分析仪通过一计算机控制的。在所述的联立方程式方法。确定所述对象的波前在最简单的强度和相位值的情况下，两个采样序列与一相位变化被进行之间存在，给出两个方程式，从其相关的强度，以所述相位改变所述强度和相位值被获得，如果背景强度是一个重要因子，两个相位变化和三个采样序列被携带进行。用于多个精度，几个周期(例如15)的测量被进行，和所述结果进行平均，最好是随机相位改变被实现。在该傅立叶系数的方法，相等的增量相位关系被用于和层数的变化取样操作是需要的。一种典型应用是在所述的测试一透镜，一反射器被提供到该测试路径中的光反射回通过该测试下的透镜，fig.4(未示出)。在一个装置用于测试一个弯曲的反射表面，fig.3(未示出)，一透镜具有等光程上的附件被用于会聚的光以所述表面。该装置中测试和参考光束被聚焦在所述分束器。而不是的一摄像机管，一单个光检测器上移动所述干扰图案可以被用于扫描取样强度或所述图案本身在一固定检测器。 |
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