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产业专利数据

XY级

JP2005321927 2005-11-7 发明申请

2007-5-24

要解决的问题 : 以提供一个XY平台，具有防止滑块的碰撞部分所述的功能与每个其它在它们返回到所述归属位置，和calceling所累积的检测误差的一个连接部分处产生一激光干涉仪。溶液 : 在该XY平台，其中所述两个滑块部分的位置被控制在两维方向上的一个四方晶系的台板，分别，归属位置检测装置对应于所述滑块部分分别被提供在对角点的位置该四边形，或在其一侧的两个端位置。版权 : (C)2007，inpit