| XY级 |
| JP2006008165 2006-1-17 发明申请 |
| 2007-8-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一个XY平台，其不需要多个激光的干涉仪之间的转换即使在该情况下，一个滑块部移动的台板上超出所述安装反射镜的尺寸。溶液 : 该XY平台，用于二维地定位和控制所述滑块部到其所述反射镜被安装在所述台板是提供具有一母级用于移动沿所述台板的一个侧; 一个测量装置用于测量一第一位置，该母级所述的位置，与相对于规定所述台板的位置作为一参考点; 和所述激光干涉仪安装到所述母级，用于接收激光束反射的光照射到所述反射镜所述滑块部和测量的一第二位置，所述滑块部的位置，与相对于该母级作为一个参考点。版权 : (C)2007，inpit |
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