| 用于扫描探针显微镜的扫描机构，和所述扫描探针显微镜 |
| JP2006142003 2006-5-22 发明申请 |
| 2007-11-29 |
| 要解决的问题 : 提供一种用于一种扫描探针显微镜的扫描机构，其可获得高-质量的AFM图像。溶液 : 该扫描机构是设置与XY平台包括一可动部分124，XY弹性部件12a7a，一个Z弹性部件12a7b和一固定部分125; X致动器122a一种用于制造所述可动部分124在X方向移动; 一个Y致动器，用于使所述可动部分124在Y方向移动; Z致动器123在Z方向移动; 一保持件130用于保持所述的中心Z致动器123; 一个样品台131固定到所述Z致动器123的下自由端; 一感测器目标132固定到所述Z致动器123上的自由端; 和一个用于检测所述位移的位移传感器114所述传感器的目标132。所述保持部件130被固定到所述可动部分124。所述传感器的目标132具有重量是基本上等于其所述样品级131。版权 : (C)2008，inpit |
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