| XY级 |
| JP2007050901 2007-3-1 发明申请 |
| 2008-9-18 |
| 要解决的问题 : 检测所述相当大的偏转一个杆的反射镜在早期的日期和指定一个异常部(条镜)通过其偏转和通知操作者作为异常检测在该情况下，所述杆镜具有基本上偏转。溶液 : 一具有一滑块，其中所述位置的XY载物台被控制在一个X-轴方向和一Y-轴方向的台板上; 一杆镜设置在所述的一个侧附近的所述滑块或所述台板; 一激光干涉仪，用于将光照射到所述杆镜，以测量距离; 和一个归属位置传感器用于检测所述滑块是提供具有两个所述的归属位置一变化检测装置，用于检测所述量的变化在所述归属位置传感器的一个距离测量值时，所述在平行的方向中被控制到移动的滑块与所述一个侧和一个报警装置，用于发布一个报警当该量的变化具有超过一个规定的门限值。版权 : (C)2008，inpit |
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