| XY级 |
| JP2007305168 2007-11-27 发明申请 |
| 2009-6-11 |
| 要解决的问题 : 以实现XY平台，其具有功能，以识别和测量信息在一形成一杆的反射镜，一个滑块的运行，和所述滑块的一偏航角与高精度。溶液 : 该XY台与所述的slier是配备其中一个台板上的位置被控制在所述X-轴方向和在该Y-轴方向，该条所述滑块反射镜设置在所述的附近，和一个激光干涉仪其发射光到所述杆镜和测量的距离。该XY级包括三个距离米固定和沿该条镜与一恒定间隔设置，一个滑块移动装置移动所述滑块在平行的n倍(n≥2A)通过一预定距离，一杆镜形成的算术单元，其操作的至少任何形式的所述杆的反射镜，所述滑块的运行，和所述偏航所述滑块的角度所述距离基于所述的测量值计在所述初始位置的所述滑块和用于每个移动通过所述预定距离。版权 : (C)2009，inpit |
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