| 跟踪型激光干涉仪 |
| JP2011138159 2011-6-22 发明申请 |
| 2013-1-7 |
| 要解决的问题 : 提供一种跟踪式激光干涉仪能够缩短测量时间的需要用于测量所述一个移动物体的运动和在一个方向正交的偏差到该移动物体的移动方向和能够降低成本的用于测量所需要的。解决方案 : 一种跟踪式激光干涉仪1包括 : 一主体2包括一个长度测量部分21用于测量一距离上以一运动对象M通过使用一后向反射器R上的测量光反射l22和一个跟踪光部22具有一检测器222用于接收由所述后向反射器反射的测量光l21R; 和控制装置3用于控制所述所述主体的姿势2所述的基础上的一个接收信号从所述检测器222并允许所述主本体2以轨道所述后向反射器R的所述控制装置3包括一偏差测量部分32，其中，在一种状态 : 跟踪所述的后向反射器R的所述主体2是停止，测量所述偏差所述移动体的所述方向正交于所述的移动方向中的M所述移动体M所述光接收位置的基础上所测量的光反射l21q2通过所述检测器222中所述后向反射器R。版权 : (C)2013，inpit |
微信公众号