| 用于扫描探针显微镜的光检测系统 |
| WOBR21050315 2021-7-28 发明申请 |
| 2022-2-3 |
| 本发明实质上是一种系统，包括： 几何构造的抛物面镜(1)， 至少一个会聚透镜(2)， 精密定位手柄(3)， 至少一根光纤(4)，至少一个光谱仪(5)，用于使镜架与手柄的其它部分热绝缘的装置(6)，以及可选地用于在超高真空(7)中冷却镜架的装置。 所述精确定位手柄(3)通过压电平移器的正交布置精确地定位抛物面镜(1)，所述压电平移器使得系统能够以高精度，更具体地以高光学收集和传输效率工作。 该系统还具有位于超高真空(UHV)室外部的外部环境中的辅助光学台(8)，该辅助光学台(8)包括自由光学元件，用于提高将光传送到光谱仪(5)的光纤中的注入效率。 |
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