| 激光 |
| JP2022023681 2022-2-18 发明申请 |
| 2023-8-30 |
| 所要解决的问题：提供一种激光器，其尺寸减小，并且能够减小对象的测量结果中的干扰的影响。 解决方案：一种激光器，包括：激光束源，其发射第一激光束； 光调制器，其包括振动元件，并且通过使用所述振动元件调制所述第一激光束以生成包括调制信号的第二激光束； 光接收元件，其接收第二激光束和包括通过第一激光束在对象上的反射而产生的样本信号的第三激光束，并输出光接收信号； 解调器电路，其从光接收信号中解调样本信号； 以及校正电路，其根据所述振动元件的振动变化检测作用于所述振动元件的力，并基于所述力校正所述光接收信号。 选图：图1版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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