| 具有多个光子计数探测器元件阵列的方法和光学显微镜 |
| WOEP20071248 2020-7-28 发明申请 |
| 2022-2-3 |
| 一种用于操作光学显微镜的方法，包括：向样品(6)发射和引导多个照明光束，以在样品处形成多个分离的照明光斑(2a，2b，2c，2d)； 以及将来自照明光斑(2a，2b，2c，2d)的检测光束(11)引导到包括多个传感器阵列(31～34)的检测器(10)。 每个传感器阵列(31-34)包括光子计数检测器元件(40)，来自不同照明光斑(2a，2b，2c，2d)的检测光束(11)被引导到不同的传感器阵列(31-34)。 分析来自传感器阵列(31-34)的测量信号以确定关于传感器阵列(31-34)上的光斑(15)的位置信息。 基于位置信息调整光斑(15)到达传感器阵列(31～34)的位置。 还公开了相应的光学显微镜。 |
微信公众号