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原子力显微镜及距离控制方法
WOJP21027558 2021-7-26 发明申请
2022-2-3
本发明提供一种原子力显微镜等,其适于保持探针与试样之间的力减小。 原子力显微镜(1)通过利用悬臂与试样之间的相互作用使试样上下移动来理解试样的表面结构。 位移检测器15检测悬臂3中产生的物理量的变化,并输出检测信号。 热变动检测装置17从检测信号中提取表示在悬臂3中产生的热变动的热变动信号。 距离控制单元通过使用热波动信号控制Z压电元件来垂直移动样品。
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