| 制造-处理设备 |
| KR1020110064248 2011-6-30 发明授权 |
| 2014-1-7 |
| 制造工艺设备平台组件，测量反馈组件，。组件的工作和激光。平台组件包括一底座和混合移动平台包括一超。基一安装框架包括一超。混合移动台包括基被设置在所述，长行程移动台和具有一个阶段用于检查液的压电驱动装置。长行程基准一移动台具有一个驱动装置。测量反馈组件，其被安装在一个平台组件上，激光干涉仪; 反射装置，和信号接收装置具有一。激光工作组件被设置在所述平台组件，测量反馈组件被形成在所述的活性，激光直写头，控制接口装置，和一定位接口装置具有一。 |
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