| 干涉式非接触光学探头及其测量 |
| US14956355 2015-12-1 发明申请 |
| 2016-3-31 |
| 一种非接触式光学探针利用光学基准面，所述光学基准面朝向所述测试表面投射弯曲的测试波前，并且通过产生位于所述基准面前面的空间中的弯曲干涉条纹来检测所述测试波前。 当待测表面上的点与条纹位置相交时，探针检测到该情况。 由于条纹相对于参考系统位于空间中的已知位置，因此可以建立表面点的精确坐标。 这种局部条纹优选地由光谱可控光源产生。 条纹的曲率确保足够大的接收角，以便探测器捕获从高表面斜率点反射的光。 该探头特别适用于坐标测量机。 |
微信公众号