光学检测探头
 
US07927960  1992-8-11  发明授权

1994-6-7
 
  一种用于坐标测量机的光学检查探针,包括具有CCD阵列的感测模块和可释放地安装在其上的成像模块。 通过计算特征的图像将穿过阵列的预定像素Qc的时刻,使用探头测量特征在表面上的位置。 根据从CCD阵列的两个连续扫描图像帧确定的探头和表面的相对速度来执行计算。 探针可用于例如通过相对于表面横向移动探针来确定表面的边缘的位置,或者可用于通过将光束以与光轴成一定角度投射到表面上并测量表面上产生的光斑的位置来测量表面的预定高度的位置。
 
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