| 激光干涉仪 |
| WOUS09065874 2009-11-25 发明申请 |
| 2010-6-17 |
| 一种用于非接触测量装置和方法，与纳米精度，表面特性的诸如本地斜率和\/或振动一种固体材料的幅值，或所述一小的表面张力液体样品。所述装置提供一激光光源和光传输线路适于被位于上方和靠近所述样品的表面，一起与一机构，适于移动和\/或振动或振荡的任一个所述表面或探针，或两者; 相对于每个其它。在匝，一个干扰图案通过所述反射表面和光反射的光从所述的交互通过所述终端，其可以被相关的任一个 : i)所述振幅的振动施加到所述表面，或ii)所述本地所述表面的斜率控制所述的过程中作为确定所述末端的振荡。 |
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