| 一种双频激光干涉仪 |
| CN200910052180.7 2009-5-27 发明申请 |
| 2009-10-28 |
| 本发明提供了一种双频激光干涉仪，其包括第一偏振分光棱镜，在第一偏 振分光棱镜的反射光方向设置有第二偏振分光棱镜、补偿镜和第一角锥棱镜， 在第一偏振分光棱镜的透射光方向设置有四分之一波片与反射镜，第二角锥棱 镜与第二偏振分光棱镜相对，设置于第一偏振分光棱镜的另一侧，其中，补偿 镜的厚度为四分之一波片厚度的两倍。本发明提供的高稳定的双频激光干涉仪， 一方面可提高反射光的消光比，在不增加偏振分光棱镜加工难度的前提下降低 非线性误差，另一方面也最大限度地减小了热漂移误差，因此具有低热漂移误 差、低非线性误差、装调简单、元件易加工等优点。 |
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