| 基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪 |
| CN202211001788.9 2022-8-20 发明申请 |
| 2022-11-22 |
| 基于楔形气浮及正交测量基准的高精度大行程精密测量仪属于精密测量仪器；本机由主机座、立向支撑柱及轴座构成机架；在主机座上可纵向移动配装带有纵向激光反射镜、横向激光反射镜、立向激光反射镜的样品固配座；立轴通过立向运动座、横向运动座配装在横向导轨上，可通过立轴在横向和立向上移动横向激光干涉仪、纵向激光干涉仪、立向激光干涉仪及探针；本发明通过楔形气浮结构提高了纵向滑动件底面充裕的空间，于纵向滑动件底面设置立向激光反射镜和立向激光干涉仪，使得本发明具有微纳米级测量精度的同时，兼具大测量范围，可以实现对大尺寸微纳米级精度零件的高精度测量。 |
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