| 立方体式反射镜组及探针一体的形位误差测量仪 |
| CN202211001791.0 2022-8-20 发明申请 |
| 2022-11-22 |
| 立方体式反射镜组及探针一体的形位误差测量仪属于精密测量仪器；本测量仪中反射镜组及探针一体化设计，置于角度位移测量组件相对空间内测，使得仪器测量结构简单、紧凑；且反射镜组及激光干涉仪安装块分别使用一整块零膨胀微晶玻璃制作，消除了超精密测量仪器中的主要的热膨胀误差对测量精度的影响，同时使用激光干涉仪测量角度和位移，在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时，使得仪器可以实时补偿测量误差；本发明兼具了结构简单和高测量精度的特性，可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。 |
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