| 动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪 |
| CN202211001793.X 2022-8-20 发明申请 |
| 2022-11-22 |
| 本发明涉及一种动态符合阿贝原则的超精密形位误差测量仪，属于精密测量设备技术领域；包括主机座和立向支撑柱，两根立向支撑柱的顶部设置有轴座；主机座上侧设置有移动机构，样品固配座跟随移动机构运动，在样品固配座的上侧面竖直设置有相互垂直的激光反射镜；在轴座上沿竖直方向滑动设置有立轴，立轴的下端安装有吊挂架，吊挂架下端设置有探针及激光干涉仪。通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。 |
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