| 斜置正交激光框架及一体式V型工作台配合的精密测量机 |
| CN202211001794.4 2022-8-20 发明申请 |
| 2022-11-22 |
| 斜置正交激光框架及一体式V型工作台配合的精密测量机属于精密测量仪器；本机由主机座、支柱底座、立向支撑柱构成机架；在主机座上可纵、横向移动配装带有V型工作台的横向气浮轴套；纵向激光干涉仪、第一激光干涉仪、第二激光干涉仪发射的测距激光光线正交汇聚至探针测球处，通过结构设计，消除了一阶测量误差；使用激光干涉仪测量角度和位移，在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时，使得仪器可以实时补偿测量误差；本发明兼具结构简单和高测量精度的特性，可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。 |
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