| 基于框架式激光测量基准的大行程高精度形位误差测量仪 |
| CN202211003630.5 2022-8-20 发明申请 |
| 2022-11-22 |
| 本发明涉及一种基于框架式激光测量基准的大行程高精度形位误差测量仪，属于精密测量设备技术领域，包括主机座和立向支撑柱，两根立向支撑柱的顶部设置有轴座；主机座上侧设置有样品固配座，主机座上设置有移动机构；样品固配座上端面设置有横向激光反射镜、纵向激光反射镜和立向激光反射镜；立轴下端面安装有吊挂架，吊挂架下端设置有横向激光干涉仪、纵向激光干涉仪和立向激光干涉仪。通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。 |
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