| 基于楔形气浮及斜置测量基准的紧凑型超精密坐标测量仪 |
| CN202211003660.6 2022-8-20 发明申请 |
| 2022-11-22 |
| 本发明涉及一种基于楔形气浮及斜置测量基准的紧凑型超精密坐标测量仪，属于精密测量设备技术领域；前后主机座上端面设置楔形槽，可纵向往复移动配装带有第一激光反射面、第二激光反射面、纵向激光反射面的纵向气浮滑块，纵向气浮滑块安装于半圆运动框架内侧，配装有第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、纵向激光干涉仪及探针的半圆运动框架可沿立向和横向运动；同时探针测头位置置于半圆运动框架中的圆心位置，且第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、纵向激光干涉仪测距激光光束汇聚于探头测头位置，通过上述方案，从结构设计上消除了一阶测量误差，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。 |
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