| 基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪 |
| CN202211003530.2 2022-8-20 发明申请 |
| 2022-11-25 |
| 基于反射镜测头一体化设计的超精密形位误差测量仪属于精密测量仪器；本测量仪中探针与第一激光反射镜、第二激光反射镜、纵向激光反射镜一体化设计，置于角度位移测量组件相对内侧空间；探针及激光干涉仪固定于零膨胀微晶玻璃上，消除了超精密测量仪器中热膨胀误差对测量精度的影响；使用激光干涉仪测量角度和位移，在三轴方向获得亚纳米测量精度的同时，使得仪器可以实时补偿测量误差；本发明兼具结构简单和高测量精度的特性，可以实现对微纳米级微器件的超精密测量。 |
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