| 分离式正交测量基准及十字运动面配合的形位误差测量仪 |
| CN202211003651.7 2022-8-20 发明申请 |
| 2022-11-25 |
| 本发明涉及一种分离式正交测量基准及十字运动面配合的形位误差测量仪，属于精密测量设备技术领域，包括主机座和立向支撑柱，两根立向支撑柱的顶部设置有轴座；主机座上侧设置有样品固配座，主机座上设置有移动机构；在样品固配座的上侧面竖直设置有横向激光反射镜和纵向激光反射镜；在轴座上沿竖直方向滑动设置有立轴；立轴的上端设置有立向激光反射镜，立轴下端安装有吊挂架，吊挂架下端设置有横向激光干涉仪和纵向激光干涉仪；立轴下端中部设置有探针；轴座的上侧设置有立向支撑架，立向支撑架上设置有立向激光干涉仪。通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。 |
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