| 十字运动面及斜置正交测量基准配合的形位误差测量仪 |
| CN202211004032.X 2022-8-20 发明申请 |
| 2022-11-25 |
| 十字运动面及斜置正交测量基准配合的形位误差测量仪属于精密测量设备；本机由主机座、立向支撑柱及轴座构成机架，在主机座上可纵、横向移动配装带有微晶玻璃样品台的十字形运动面，由横向气浮轴套、纵向气浮轴套、横向连接件、纵向连接件组成的横、纵向移动驱动机构安装在运动座上，可驱动十字形运动面于横纵方向高精度移动，在轴座上通过立轴可立向移动安装了第一激光干涉仪、第二激光干涉仪、纵向激光干涉仪及探针的吊挂架；通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。 |
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