| 基于星形探针及V形工作台配合的超精密形位误差测量仪 |
| CN202211001785.5 2022-8-20 发明申请 |
| 2022-12-2 |
| 基于星形探针及V形工作台配合的超精密形位误差测量仪属于精密测量设备，由主机座、纵向运动块、立向支撑架构成机架，立轴下端安装星形探针，星形探针上安装有纵向激光干涉仪光纤测头、第二激光干涉仪光纤测头、第一激光干涉仪光纤测头，激光干涉仪光纤测头发射激光光线中的测距功能光束正交汇聚于探针测头中心，且所述激光光线与V形工作台中激光反射镜分别对应垂直；通过采用上述方案，能够适应和满足对形状复杂零件尺寸及形位误差的微纳米级精密测量使用。 |
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