产业专利数据
 
激光干涉仪
 
CN202211048319.2  2022-8-30  发明申请
2023-3-3
 
  本发明提供一种激光干涉仪，能够抑制回光入射到激光光源，并抑制从受光信号对源自测定对象物的采样信号进行解调的精度下降。一种激光干涉仪，其特征在于，具备：激光光源，射出激光；遮挡元件，具有供所述激光通过的开口；光调制器，将所述激光调制为频率不同的参照光；以及受光元件，接收所述激光由测定对象物反射而生成的物体光以及所述参照光，并输出受光信号，当将所述开口的直径设为时，满足
 
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