| 激光干涉仪 |
| CN202211180646.3 2022-9-27 发明申请 |
| 2023-3-31 |
| 本申请提供激光干涉仪，即便是在将振荡电路所输出的信号那样相位产生变化的信号用作基准信号时，也能够提高从受光信号解调出源自于测定对象物的采样信号的精度。激光干涉仪具备：激光光源，射出第一激光；光调制器，具备振动元件，且生成包括调制信号的第二激光；受光元件，接受第二激光及包括采样信号的第三激光；以及运算部，基于基准信号从受光信号求出测定对象物的位移，运算部具有：前处理部，进行从受光信号提取频率调制分量的前处理，并输出前处理信号；解调处理部，在将正交信号混合于前处理信号而得到混合信号之后，进行从混合信号取出采样信号的解调处理；以及正交信号生成部，基于基准信号的相位及前处理信号的振幅而生成正交信号。 |
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