| 测量仪器的校准方法及其校准装置 |
| CN202211251457.0 2022-10-13 发明申请 |
| 2023-1-17 |
| 本公开描述了一种测量仪器的校准方法及其校准装置，包括：将具有十字图案的标准件置于承载平台；令多个物镜中的第一物镜作为工作物镜，令工作物镜对焦并对准于十字图案，将第一物镜在第一方向的位置作为第一位置，并将承载平台在预设平面的位置作为第二位置；令多个物镜中的第二物镜作为工作物镜，调整第二物镜的位置以使第二物镜对焦于十字图案并调整承载平台的位置以使第二物镜对准于十字图案，将第二物镜在第一方向的位置作为第三位置，并将承载平台在预设平面的位置作为第四位置；基于第一位置和第三位置对工作物镜进行齐焦校准；并且基于第二位置和第四位置对工作物镜进行同心校准。 |
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