| 用于原子力和扫描电子显微镜的校准晶格 |
| RU2020123413 2020-7-15 实用新型 |
| 2022-1-27 |
| 本实用新型涉及用扫描探针(包括原子力)或扫描电子显微镜测量表征亚微米和纳米级物体几何参数的小段长度。 校准格栅为厚度为0.2-2mm，直径为4-10mm的铝盘， 在其表面上具有直径至少为3mm的凹陷区域，该凹陷区域是以这种方式排列成二维六边形阵列的一组半球形凹陷。 此外，它们的中心之间的距离为100nm或50nm，在半高分布的半宽小于6nm，具有六个相邻的凹陷的比例大于90%。 效果：在亚微米和纳米尺度上显著提高了表征物体形态的小长度片段的测量精度。 1Z. p. F-LY，5IL。 |
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