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使用人工智能物体识别技术的原子力显微镜及其操作方法

WOKR21005882 2021-5-11 发明申请

2022-1-20

本发明的原子力显微镜，用于容纳样品的样品台；悬臂，包括探针，并放置在样品上；将激光束注入悬臂中的激光器；光检测器，用于接收来自悬臂的反射激光束；第一照相机，用于拍摄样品和悬臂；第二摄像机，用于拍摄从悬臂注入的激光光斑和激光；第一照相机，第二照相机和光检测器电连接，并且可以包括处理器，用于处理从第一照相机，第二照相机和光检测器获得的数据。本发明的原子力显微镜的操作方法，通过第1照相机检测悬臂和试样的位置的步骤；调整样品的位置；通过第二摄像机检测激光器和悬臂的位置；对准激光器；通过光检测器检测激光束的位置；它可以包括对准光检测器的位置的步骤。本发明的原子力显微镜可以包括：用于容纳样品的样品台；悬臂，设置在所述样品上，并包括探针；用于将激光束照射到悬臂上的激光器；光检测器，用于接收从悬臂反射的激光束；第一照相机，用于拍摄样品和悬臂；第二照相机，用于拍摄悬臂和由激光器照射的激光光斑；以及电连接到第一照相机，第二照相机和光电探测器并处理从光电探测器获得的数据的处理器。一种用于操作本发明的原子力显微镜的方法，可以包括：通过第一相机感测悬臂和样品的位置的步骤；调整样品位置的步骤；通过第二摄像机感测激光器和悬臂的位置的步骤；对准激光器的步骤；检测通过光电检测器的激光束的位置的步骤；以及对准光电检测器的位置的步骤。