透射电镜及物镜孔径的调整方法
 
EP21183426  2021-7-2  发明申请

2022-1-19
 
  一种透射电子显微镜(100),包括控制单元(50),该控制单元执行以下处理:获取物镜孔径(16)的图像; 基于物镜孔径(16)的图像获得物镜孔径(16)的位置; 基于物镜孔径(16)的位置,获得物镜位置与物镜孔径(16)的位置之间的偏差量; 以及操作光圈移动机构(30), 基于物镜孔径(16)的位置的偏差量,用于获得物镜孔径(16)的位置的处理执行以下处理:通过使用设定的阈值对物镜孔径(16)的图像进行二值化,以获得二值化图像; 从二值化图像中获得物镜孔径(16)的孔径区域; 确定该区域是否在预定范围内; 当确定该区域不在预定范围内时,改变该阈值; 以及当确定所述区域在所述预定范围内时,基于所述二值化图像获得所述物镜孔径(16)的位置。
 
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