| 使用扫描探针显微镜测量物理性质的方法和扫描探针显微镜 |
| JP2020535425 2018-8-9 发明授权 |
| 2022-1-19 |
| 扫描探针显微镜(50)具备探针(20)， 支撑探针(20)的悬臂(2)， 扫描仪(43)，其上放置样品(S)；驱动单元(4)，用于改变样品(S)和探针(20)之间的距离；以及位移测量单元(3)，用于测量悬臂(2)的位移。 扫描探针显微镜(50)具备：曲线生成部(11)，生成表示探针(20)与试样(S)之间的距离与表示试样(S)接近探针(20)时的悬臂(2)的位移量的关系的第一曲线； 以及第二曲线，表示当样品(S)离开探针(20)时探针(20)和样品(S)之间的距离与表示悬臂(2)的位移的量之间的关系， 以及物理量计算单元(53)，用于将表示第一曲线和第二曲线之间的面积的量确定为样本的物理量。 |
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