| 扫描探针显微镜及其控制装置 |
| RU2021119987 2021-7-7 发明授权 |
| 2022-1-17 |
| 本发明涉及扫描探针显微镜。 扫描探针显微镜包括振动探针传感器， 垂直致动器，用于使传感器和垂直于扫描平面的样品相互移动； 来自振动探头传感器的信号的测量换能器包括控制器，该控制器包括至少一个反馈电路，该反馈电路包括数字信号处理器和垂直致动器，该数字信号处理器连接来自振动探头传感器的测量信号换能器的输出，该垂直致动器可编程为执行直接数字控制的门阵列 可变信号的合成，用于与计算机通信的USB单元，来自使用至少一个双相同步混频器和低频滤波器的振动探头传感器的信号的测量转换器的信号处理装置。 在USB单元的前面插入一个电流隔离单元。 至少一个双模拟相位同步混频器安装在数字信号处理器板上，并且被配置为首先将输出信号提供给三阶模拟滤波器，然后提供给多路复用器，然后提供给数字信号处理器进行数字滤波。 2N. 和6z.p。 F-Ly，1IL；Field：Electric Engineering。 物质：本发明组涉及扫描探针显微镜。 扫描探针显微镜包括振动探针传感器， 垂直驱动装置，用于使传感器和样品垂直于扫描平面往复运动； 来自振动探头传感器的信号的测量变送器， 包括控制器，该控制器包括至少一个反馈电路，该反馈电路包括数字信号处理器，该数字信号处理器将来自振动探头的信号的测量发送器的输出与垂直驱动器连接， 编程为执行可变信号的直接数字合成的可编程门阵列， 一种用于与计算机通信的USB单元，用于使用至少一个双相同步混频器和低通滤波器处理来自振动探头传感器的信号的来自测量发送器的信号的装置。 在USB单元之前引入电流分离单元。 至少一个双模拟相位同步混频器被安装在数字信号处理器的板上，并且被配置为首先将输出信号提供给三阶模拟滤波器，然后提供给多路复用器，然后提供给数字信号处理器以进行数字滤波。 效果：创建功能扫描探针显微镜。 8Cl，1DWG |
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