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具有扫描镜装置的激光扫描显微镜

EP12155911 2012-2-17 发明授权

2022-1-5

扫描镜装置(1)具有围绕轴线可旋转地安装的微系统扫描镜(2)。检测模块(3)具备光源(14)和位置检测器(19)。光源发射光束(13)。扫描镜(7)的检测模块被光束照射到后面，使得光束在位置检测器的扫描镜的后面被反射。