| 电镜观察方法，透射电镜用孔径扫描高速模拟装置，透射电镜及数据处理系统 |
| JP2019172290 2019-9-20 发明申请 |
| 2022-1-4 |
| “问题”我们甚至在原子水平上提供了高灵敏度和高分辨率的电子显微镜及其观察方法。解决方案是指： 照明步骤，其中从点光源在光轴上注入的电子束71在与物理表面基本正交的方向上平行于光轴照射， 与物镜84的物镜后焦平面78共轭的光圈表面将放置在物理表面上的被观察物体散射的电子束会聚， 移动和调整相位板54和电子束71的相对位置， 形成电子束强度强的部分和电子束强度弱的部分的对称电子束偏转对比度， 并且移动和扫描移位电子束71a或相位板54，聚焦电子束71，在检测表面上形成实像。“选择图形”图8a |
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