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电子束设备扫描电子显微镜及电子束方法

TW107126417 2018-7-31 发明授权

2022-1-1

?一种磁枪透镜及一种静电枪透镜可用于一电子束设备且可有助于在扫描电子显微镜、检查及/或检验使用中为所有可用电子束电流提供高解析度。一提取射束可使用该磁枪透镜经由一射束限制孔径而导引在一晶圆处。该电子束亦可在该电子束通过该射束限制孔径之后通过一静电枪透镜。