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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

在防止半导体制造工艺中使用的敏感层上的样品损伤的同时，能够进行扫描电子显微镜成像

US17182925 2021-2-23 发明申请

2021-12-30

在半导体晶片的电子束成像期间，电子束被调节到第一电子剂量/nm2/时间值，该第一电子剂量/nm2/时间值低于半导体晶片上的位置的图像帧捕获的损伤阈值。然后将电子束调整到不同于该位置的第二图像帧抓取的第一电子剂量/Nm2/时间值的第二电子剂量/Nm2/时间值。第二电子剂量/nm2/时间值可以高于损伤阈值。