| 激光干涉仪 |
| DE19600297 1996-1-5 发明申请 |
| 1996-7-11 |
| 一种用于校准激光干涉仪位移具有一细长的平行线性阵列的光敏元件(70)位于一个空间中从干涉光束产生边缘场具有非平行的方向传播。所述元件是分组集合成在一个交错重复图案。一种后向反射器(48)的移动引起可检测的所述条纹领域中的移位。该装置包括一分束器(44)产生一对正交的偏振光束。一个所述光束被转移到相对固定的后向反射器(46)，所述其它通过undiverted到后向反射器(48)。所述光束在束分离器(44)被部分地重叠的重组和平行的。一双折射棱镜(60)折射的光束通过不同的角度，使它们以会聚和偏振元件(62)。混合它们的偏振状态，因此它们干扰和产生一个空间干涉条纹领域。该装置也可以校准的角度位移; 平直度，垂直度，节距辊或机器工具上的偏航。 |
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