| 一种扫描电镜用检测装置 |
| CN202120746949.1 2021-4-13 实用新型 |
| 2021-12-28 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜用检测装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有检测装置本体，所述底座的顶部固定连接有固定板，固定板顶部的中心处固定连接有双轴电机。本实用新型通过双轴电机、螺纹杆、螺纹套、支撑杆、驱动电机、传动机构、转轴、气动夹具和防护箱的配合，将待测芯片放置在定位块上，气动夹具对其进行夹持，当需要翻转该芯片时，双轴电机的输出轴通螺纹杆带动螺纹套向两侧移动，螺纹杆通过支撑杆带动放置板向下移动，然后驱动电机的输出轴通过主动齿轮和从动齿轮带动转轴旋转，使待测芯片翻转，防护箱可以避免环境因素对检测结果造成影响，从而达到方便使用的效果，解决了现有装置不方便使用的问题。 |
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