| XY级 |
| JP2006092627 2006-3-30 发明申请 |
| 2007-10-11 |
| 要解决的问题 : 以实现XY平台，其中所述检测到的是基本上不产生累加的值错误的[!θ!]通过重复变化一个干涉仪的开关。溶液 : 该XY平台，其检测的变化在X，Y坐标的一滑块，其开关的多个激光干涉仪，设置在至少所述的X方向，或所述的Y方向，和在一个台板移动顶部，和Y坐标中的变化，和其检测Z轴旋转角的变化[!θ!]基于所述滑块的两个距离上的检测值和所述激光干涉仪之间的距离之间的多个所述的激光干涉仪，包括一个主操作装置，用于进行所述滑块的一预定角度顺时针回转通过一预定位置，一旋转角度操作从一种距离检测装置，用于计算该旋转角度值由两个激光干涉仪的作用切换之前，所述激光干涉仪之间的一个度量设计值，和一个校准操作装置，用于校准所述这些两个激光干涉仪之间的距离，基于该距离由两个激光干涉仪的检测值用于切换后和所述计算出的旋转角度。版权 : (C)2008，inpit |
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