| 一种扫描电镜的校准装置 |
| CN202120729651.X 2021-4-12 实用新型 |
| 2021-12-28 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜的校准装置，包括机柜，所述机柜顶部的背面固定连接有探测器，所述探测器正面的顶部固定连接有电子枪，所述电子枪的底部固定连接有镜筒。本实用新型通过驱动电机、螺纹杆、螺纹套、限位杆、伺服电机、齿轮、齿牙板、螺栓和压板的配合，将待测物体放置在放置槽中，旋转螺栓，螺栓带动压板向左移动，对物体进行夹持固定，当需要调节前后位置时，伺服电机的输出轴通过齿轮在齿牙板上转动，使放置块前后移动，当需要调节左右位置时，驱动电机的输出轴通过螺纹杆和螺纹套带动限位杆左右移动，使放置块左右移动，从而达到方便校准的效果，解决了现有装置不方便校准的问题。 |
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