| 激光干涉仪 |
| JP2010273820 2010-12-8 发明申请 |
| 2012-6-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一激光干涉仪，其可以正确地反映参考光，可以可靠地使所述反射参考光，并测量光到与每个其它干扰，和可减少部件的数量。溶液 : 所述激光干涉仪测量的距离，以获得一个基于待测物体上的干扰光通过结合通过将测量获得的光，它是一个光从一光源和被发射的光朝向所述对象以被测量，和参考光L3，其是通过将所获得的所述其它光的光从所述光源极，和包括一个角隅棱镜的棱镜214用于反射所述参考光L3和组合所反射的参考光与所测量的光。版权 : (C)2012，inpit |
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