| 激光干涉仪 |
| JP2015113510 2015-6-3 发明申请 |
| 2016-9-23 |
| 要解决的问题 : 在降低的噪声分量，激光干涉仪光学元件可以做得很小。解决手段 : 在激光干涉仪，所述光源(12)，其发射的激光束相干光。1分配器14具有第一，第二和第三的激光束2分成部件(1)。第一分束器2，20，第一偏振光分量的主部件(1)分为噪声成分。3分束器18，包括第一，主体第一之间的干扰偏振光分量反射表面22上的组件2。接收部分124，第一和第二分路器3，18，2干扰偏振光分量的主要成分。第一光学部件(1)的分量噪声，不进入第二分束器3，18。选择附图中 : 图。1 |
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