| 尺寸测量仪器 |
| JP2020153398 2020-9-12 发明申请 |
| 2022-3-25 |
| “问题”提供一种能够高精度地测量具有大的和不同长度的长工件的尺寸并且能够携带的尺寸测量仪器。 “解决方案”尺寸测量器10以包括激光头和干涉镜的激光干涉仪为刻度，沿工件W移动反射镜，并且仅沿一个方向测量布置的工件W的尺寸。 尺寸测量器10包括以预定长度形成并可携带的导轨30，可移动地设置在导轨30上以支撑反射镜23的托架40，以及设置在托架40上以检测与工件W的接触的探针机构50。 图1是选择图。 |
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