| 操作包括物镜阵列和粒子束显微镜的物镜阵列的方法 |
| DE102020109441 2020-4-3 发明申请 |
| 2021-10-7 |
| 本发明涉及一种用于粒子束显微镜的物镜装置(17)及其操作方法。 物镜装置(17)包括用于产生第一磁场的第一线圈(51)，该第一磁场产生在第一磁轭(59)中引导并在第一间隙(52)上延伸的第一磁通(45)。 以及用于产生第二磁场的第二线圈(75)，所述第二磁场产生在第二磁轭(73)中引导并在第二间隙(76)上延伸的第二磁通(63)。 物镜装置(17)包括控制系统(93)， 并且其被配置为在第一操作模式中操作物镜阵列(17)，在第一操作模式中，控制器(93)控制电源装置(85)，使得物镜阵列(17)和物平面(53)之间的第一磁场具有聚焦效果， 并且第一磁场和第二磁场在粒子束通道(79)中重叠。 |
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