| XY台使用激光干涉仪 |
| KR1020090001635 2009-1-8 发明授权 |
| 2009-11-18 |
| 目的 : XY平台，其中所述激光干涉仪是安装是提供以除去所述的unstableness一激光光束，它是由所述气流和所述的变化引起的压力和湿度。结构 : XY平台，包括所述第一和第二激光干涉仪。第一激光干涉仪测量X-轴位移包括第一的激光束发生器(10)，第一分束器(20)，用于通过和反射激光束，第一反射器(111)，所述第一检测器(40)，第一导向管(50)，和第一的真空泵(60)。第一导向管保持该真空条件下所述激光束的所述周围环境。第一的真空泵保持所述的内部第一所述真空条件下导向管。第二激光干涉仪测量Y-轴位移。 |
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