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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

整体微机械陀螺仪-加速度计的基础上的碳纳米管

RU2007114439 2007-4-16 发明授权

2008-9-20

字段 : 工艺过程; 物理学。物质 : 装置包含半导体与五个固定电极基，四个可动电极，其被制成在所形成的板与梳状结构，其形成与固定电极和电容器，其是与基座连接的装置的弹性梁使碳纳米管是由所述的基础上，惯性质量，其关系中与间隙被安装到基座和与其上施加附加的惯性质量的一个层。效果 : 增加测量的精度。2显示