| 激光干涉仪 |
| US17953978 2022-9-27 发明申请 |
| 2023-3-30 |
| 一种激光干涉仪，包括：激光光源，被配置为发射第一激光； 光调制器，所述光调制器包括谐振器元件，并且被配置为生成包括调制信号的第二激光； 光接收元件，被配置为接收所述第二激光和包括样本信号的第三激光； 以及运算部，根据基于基准信号的受光信号来计算测定对象物的位移，所述运算部包括：预处理部，执行从所述受光信号中提取频率调制成分的预处理，并输出预处理信号；解调处理部，将所述预处理信号与正交信号混合，得到混合信号，然后执行从所述混合信号中提取所述样本信号的解调处理； 以及正交信号生成单元，基于所述参考信号的相位和所述预处理信号的振幅，生成所述正交信号。 |
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