| 激光干涉仪 |
| US18173182 2023-2-23 发明申请 |
| 2023-9-7 |
| 一种激光干涉仪，包括：激光光源，被配置为发射激光； 光调制器，所述光调制器包括由驱动信号驱动的振子，并且被配置为使用所述振子将调制信号叠加在所述激光上； 光电检测器，被配置为接收包括由于被物体反射而叠加在其上的样品信号的激光和包括调制信号的激光，并且输出光接收信号； 计算单元，用于基于参考信号对所述光接收信号进行计算； 以及信号生成单元，被配置为输出所述驱动信号和所述参考信号。 所述计算部包括：预处理部，其被配置为基于所述基准信号，进行用于从所述光接收信号中提取调频成分的预处理，并输出包含所述调频成分的预处理信号，解调处理部，其被配置为基于所述基准信号，从所述预处理信号中解调所述样本信号，以及校正处理部，其被配置为基于响应于所述振子的驱动而输出的输出信号，输出校正信号。 所述信号生成部基于所述校正信号来校正所述驱动信号和所述基准信号。 |
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